[23a-P05-1~2] 13.3 絶縁膜技術

[23a-P05-1] アルカリ土類金属イオンのSiN_x, SiO_x膜への透過障壁のイオン半径依存性

〇奥 友希¹、戸塚 正裕¹、佐々木 肇¹ (1.三菱電機)

キーワード：耐湿性、コンタミネーション、保護膜

保護膜の耐湿性劣化へのイオンの影響を分析するために，これまでの欠陥を有するSiN_x, SiO_x膜へのアルカリ金属イオン(Li⁺, Na⁺, K⁺, Rb⁺)に加えてアルカリ土類金属(Be²⁺, Mg²⁺, Ca²⁺, Sr²⁺)の透過障壁を求めるために分子軌道計算を適用した．空孔位置での生成エネルギーとイオン半径との関係を調べると、周期による違いが類似していることが分かった．