[20a-C101-1~13] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-C101-4] 青色発光ダイオードでコリメート照明した対向放物面鏡立体投影リソグラフィによるスプーン面へのパターン形成の実証

〇堀内 敏行¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大工)

キーワード：立体面投影露光リソグラフィ、放物面鏡、コリメート照明

回転放物面鏡を上下に対向させて、下ミラー開口中心に置いた透過曲面原図物体上のパターンを斜め下方から照明し、上ミラーの開口中心に置いたレジストを塗布した被露光物体曲面に投影する光学系を用い、立体面投影露光リソグラフィを実証した。原図物体として透明スプーンを使用し、波長405nmの青色発光ダイオードコリメート光源で適切な方向から照明した結果、レジストパターンを原図物体と同形のスプーン面に転写できた。