[20a-C101-1~13] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-C101-8] ディープラーニングのための熱ナノインプリント用樹脂の熱特性の検証

〇亀山 開²、國籐 裕成¹、川田 博昭¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.阪公大院工、2.阪府大院工)

キーワード：ナノインプリント、ガラス転移温度、成型性

ディープラーニングを利用して未知材料に対するプロセス設計を行う際、代替材料の熱特性に基づいたシミュレーション結果を用いた妥当性を実験的に検証した。ガラス転移温度の異なる PVC, PMMA,PCの熱特性は、各樹脂のガラス転移温度差だけシフトさせると、その特性は概ね一致した。次に、ガラス転移温度から同じだけ温度上昇させた状態で、ナノインプリント結果を調べた結果、概ね同一の成型結果となった。