[21p-B104-1~8] グリーン化に挑戦する半導体製造・プロセス技術

[21p-B104-7] pn積層Gate-All-Around (GAA) 2D FETsによるグリーン化の可能性

〇若林 整¹ (1.東工大)

キーワード：2D FET、グリーン化

pn積層Gate-All-Around (GAA) 2D FETsによるグリーン化の可能性について論じる。