[15p-D221-1~14] 9.5 新機能材料・新物性

△ [15p-D221-8] 基板の表面状態がSiマイクロ・ナノロールの形状に及ぼす影響

〇喬 楊木易¹、新井 太貴¹、鈴木 俊明¹、吉越 章隆²、丹羽 雅昭¹、本橋 光也¹ (1.東電大工、2.原子力機構)

キーワード：Siロール、Pt 薄膜、陽極酸化

現在までに、単結晶Siウェーハの表面上に極低濃度のHF水溶液を用いて陽極酸化をすることで、太さ1μm程度の機能性ロール状構造体(Siロール)を作製する技術を開発してきた。今回は、このロールの太さを制御することを目的に、陽極酸化前のSi基板上に単原子層のPt 膜をコートした後に、ロール作製を行った。その結果、Ptコートによってロール幅が増大することがわかった。