[17a-A403-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[17a-A403-3] 歪シリコンナノシートにおける有効質量変化に関する第一原理計算

〇(P)掘井 耀¹、植田 暁子¹、林 喜宏¹ (1.産総研)

キーワード：シリコンナノシート、第一原理計算、歪シリコン