[17p-A205-1~18] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[17p-A205-3] マイクロ波水素プラズマによるシリコンナノコーン形成における窒素および水蒸気添加の影響

〇多村 尚起¹、野村 俊光¹、垣内 弘章¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：マイクロ波プラズマ、ブラックシリコン、太陽電池