[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-18] MEMS触覚センサのカンチレバー平面形状の改良による感度向上

〇水戸部 龍介¹、村上 健¹、鄭 盈權¹、門田 秀人¹、安部 隆¹、寒川 雅之¹ (1. 新潟大学　)

キーワード：触覚センサ、MEMSセンサ、カンチレバー、ハプティクス、ひずみゲージ