[27p-A7-1~17] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[27p-A7-12] CZTSターゲットマグネトロンスパッタリング成膜におけるCu,Sn,およびZn原子の付着確率の比較 (4:30 PM ～ 4:45 PM)

^○菊地瞬也，佐々木浩一 (北大工)

キーワード：CZTS、スパッタリング、成膜