[28p-G6-1~17] 13.5 Siプロセス技術

[28p-G6-14] a-Si細線を用いた大気圧マイクロプラズマジェット結晶成長制御によるTFT特性ばらつきの改善および5V電源電圧でのCMOS回路動作 (5:30 PM ～ 5:45 PM)

^○森崎誠司，林将平，藤田悠二，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：TFT、熱プラズマジェット