[17p-F4-1~13] 7.6 イオンビーム一般

[17p-F4-5] ガスクラスターイオンビームによる4H-SiC表面の室温酸化及び平坦化

^○日野浦諒¹，山口明良¹，児島誠¹，豊田紀章¹，原謙一²，山田公¹ (兵庫県立大院工学研究科¹，東京エレクトロン²)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム