[17p-PG3-1~30] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[17p-PG3-3] 定電流電気化学堆積法によるZnO薄膜の作成

^○鈴木聡，千葉航平，藤浪楠己 (木更津高専)

キーワード：酸化亜鉛,電気化学堆積法,定電流成膜