2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[18p-PG6-1~15] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PG6 (G棟2階)

13:30 〜 15:30

[18p-PG6-6] 直接貼付InP/GaAs基板上GaInAsP系MOVPE成長

金谷佳則,松本恵一,小冷亮太,岸川純也,下村和彦 (上智大)

キーワード:有機金属気相成長法,直接貼付法