2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[13p-1E-1~17] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

2015年9月13日(日) 13:15 〜 18:00 1E (143)

座長:小野 敏昭(SUMCO),関口 隆史(NIMS)

13:45 〜 14:00

[13p-1E-3] シリコン結晶の低炭素濃度評価へのアプローチ

〇中川 聰子1、日笠 光朗1、鹿島 一日兒1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：炭素、赤外吸収、フォトルミネッセンス