[16p-2T-1~7] 17.2 構造制御・プロセス

[16p-2T-5] 還元型酸化グラフェンおよび銀ナノワイヤフィルムの均一性向上

〇内藤 勝之¹、吉永 典裕¹、赤坂 芳浩¹ (1.東芝研究開発センター)

キーワード：グラフェン、銀ナノワイヤ、透明電極

還元型酸化グラフェンフィルム作製ではスピンコートの方が均一性は高く、ディップコートでは凝集が起こりやすい。スピンコート回転数を上げると膜厚は減少し、表面抵抗も増加した。小片の酸化グラフェンの方が表面抵抗が小さかった。銀ナノワイヤフィルム、グラフェンと銀ナノワイヤ積層フィルムの均一性についても検討した。