14:45 〜 15:00
〇田中 宏幸1,2、古賀 拓哉2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
田中 宏幸
発表者・著者、共著者
2016年9月16日(金) 13:45 〜 17:00 B10 (展示控室1)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
15:30 〜 15:45
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、速水 利泰3、宮崎 俊也3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)