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[DF-01] プリンテッドエレクトロニクスにおけるインクジェットのドロプレット デポジッション技術
インクジェット方式は機能性材料を個別ドットとして高精度に着弾させることができることから、エレクトロニクスデバイスの製造への寄与が期待されている。JAPERAではエレクトロニクスデバイスの印刷基盤技術の確立を進めており、その一環としてフレキシブルTFT(薄膜トランジスター)アレイの全印刷基盤技術を開発した。ここではインクジェット方式を孤立ドットパターンである、有機半導体と層間接続電極に適用している。複数滴の機能性材料を高精度にデポジットすることで、電極上に薄膜半導体を均質に形成する事例、高アスペクト比の電極ポストを形成する事例を示す。