[EI] 電子ペーパー／エレクトリック イメージング

[EI-03] 分子動力学法を用いた蒸着シミュレーション技術の開発

*余米 希晶¹ (1. コニカミノルタ株式会社)

我々は、次世代の照明やディスプレイへの応用を目指して有機EL素子（Organic Light Emitting Diode、以下OLEDと略記する）の技術開発を進めてきた。OLEDは多層構造を持つ。そのため性能向上には、各層および界面の状態を生成後だけではなく、成膜中においても明らかにすることが不可欠である。しかしながら、蒸着プロセスは非平衡なプロセスであるため、成膜中の状態を実験的に把握することは困難である。今回、蒸着中の膜や界面の状態を分子レベルで可視化することを目的として、分子動力学法を用いたシミュレーション手法を開発した事例を紹介する。