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[INP-21i] 溶液プロセスによる短チャネル有機トランジスタの高移動度化 : MoO3塗布注入層を用いた接触抵抗低減
有機電界効果トランジスタ (OFET) のディスプレイ、論理回路等への応用には、チャネル長 5 µm の短チャネル素子での実効移動度の向上が重要な指標となる。本研究では、正孔ドープ層として用いられるMoO3注入層を塗布形成しUV/O3処理を施すことで、短チャネルトップゲートdioctylbenzothienobenzothiophene (C8-BTBT) OFETにおいて、飽和移動度は最高で1.4 cm2/Vs、線形移動度では2.7 cm2/Vsの高い実効移動度が得られることが分かった。また、接触抵抗は0.4 kΩcm (VG = -30 V) となり、素子作製後1か月以上経過しても安定動作が可能であることが分かった。