2022年6月29日(水) 09:00 〜 10:25 Fundamentals and Applications of Biomimetics Materials and Processes (A13)

Chairman:Atsushi Sekiguchi(Litho Tech Japan), Takayuki Murosaki(Asahikawa Medical University)

2022年6月29日(水) 10:25 〜 11:25 Fundamentals and Applications of Biomimetics Materials and Processes (A13)

Chairman:Hiroyuki Mayama(Asahikawa Medical University), Takayuki Murosaki(Asahikawa Medical University)

2022年6月29日(水) 13:00 〜 14:00 Fundamentals and Applications of Biomimetics Materials and Processes (A13)

Chairman:Atsushi Hozumi(Advanced Industrial Science and Technology), Fujio Tsumori(Kyushu University)

2022年6月29日(水) 09:00 〜 10:40 EUV Lithography (A5)

Chairman:Takeo Watanabe(University of Hyogo), Shinji Yamakawa(University of Hyogo)

2022年6月29日(水) 10:40 〜 12:00 EUV Lithography (A5)

Chairman:Taku Hirayama(HOYA Corp.), Hiroaki Oizumi(GIGAPHOTON Inc.)

2022年6月29日(水) 13:50 〜 16:00 EUV Lithography (A5)

Chairman:Hiroto Kudoh(Kansai University), Hiroaki Oizumi(GIGAPHOTON Inc.)

2022年6月29日(水) 16:00 〜 16:55 EUV Lithography (A5)

Chairman:Takeo Watanabe(University of Hyogo), Taku Hirayama(HOYA Corp.)

2022年6月29日(水) 16:55 〜 18:45 EUV Lithography (A5)

Chairman:Hiroto Kudoh(Kansai University), Shinji Yamakawa(University of Hyogo)

2022年6月29日(水) 11:10 〜 11:30 Next Generation Lithography, EB Lithography and Nanotechnology (A1)

Chairman:Yoshio Kawai(Shin-Etsu Chemical), Tsukasa Azuma

2022年6月29日(水) 11:40 〜 12:00 193 nm Lithography Extension and EUV HVM Readiness (A7)

Chairman:Yoshio Kawai(Shin-Etsu Chemical), Tsukasa Azuma