The 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology

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General Scopes of Photopolymer Science and Technology

[2B3-501-04] レジスト除去、エッチング、洗浄

Wed. Jun 29, 2022 1:00 PM - 2:40 PM レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:石島 達夫(金沢大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)

1:00 PM - 1:35 PM

[2B3-501] 原子状水素アニールによる酸化膜の表面洗浄と表面改質 [招待講演]

*部家 彰1、住友 弘二1 (1. 兵庫県立大学)