The 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology

Presentation information

Print

General Scopes of Photopolymer Science and Technology

[2B3-501-04] レジスト除去、エッチング、洗浄

Wed. Jun 29, 2022 1:00 PM - 2:40 PM レジスト除去、エッチング、洗浄 (B3-5)

座長:石島 達夫(金沢大学)、堀邊 英夫(大阪公立大学)

1:35 PM - 2:10 PM

[2B3-502] 水/エタノール混合蒸気大気圧プラズマを用いたPTFE表面の処理と分析 [招待講演]

*八田 章光1、Fitriani Sukma1、古田 寛1、矢島 英樹2 (1. 高知工科大学、2. オーク製作所)