[2B3-505-07] レジスト除去、エッチング、洗浄

[2B3-506] マイクロ波励起水蒸気プラズマによるポリマー薄膜のアッシング特性の検討 [招待講演]

*石島 達夫¹、相澤 洸^1,2、田中 康規¹、堀邊 英夫³ (1. 金沢大学、2. 米倉製作所、3. 大阪市立大学)