The 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology

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Plasma Photochemistry and Functionalization of Polymer Surfaces

[3B201-04] プラズマ光化学と高分子表面機能化Ⅰ［B2］

Thu. Jun 30, 2022 9:30 AM - 11:00 AM プラズマ光化学と高分子表面機能化 (B2)

座長:笹井 泰志、近藤 伸一

9:30 AM - 9:55 AM

[3B201] ビニル基系有機シリコン原料を用いたPECVD法によるSiO:CH微粒子堆積膜の作製

中泉 有稀1、*井上 泰志1、高井 治2 (1. 千葉工業大学、2. 関東学院大学)