[G] 表面・界面・触媒

[104] CrN-SiCN複合膜の機械的性質と組織に及ぼす大気中熱処理の影響

*櫻井 亨彦¹、土屋 大樹²、松田 健二²、塩尻 詢³、川崎 正博⁴、池野 進⁵、野瀬 正照⁵、李 昇原² (1. 富山大学（院生）、2. 富山大学、3. 京都繊維工芸大学名誉教授、4. Applied Materials, Inc.、5. 富山大学名誉教授)

キーワード：CrN-SiCN、熱処理、TEM

本研究ではCrN-SiCN複合膜に大気中で熱処理を施し, 熱処理がCrN-SiCN複合膜の機械的性質や構造に及ぼす影響を調査した。