[P] 2.物性

[P106] 酸素欠損ZnO保護層を成膜したCoPt薄膜の磁気特性

*澤畑 有輝¹、杉村 朋幸²、山根 治起³、小林 政信⁴ (1. 千葉工大(学生)、2. 千葉工大(院生)、3. 秋田産技セ、4. 千葉工大)

キーワード：CoPt多層膜、酸素欠損ZnO、磁気特性、光学特性

CoPt磁性多層膜において、酸素欠損ZnOを下地層及び保護層に用いたCoPt/酸素欠損ZnO多層膜を作製し、保護層の有無、酸素欠損ZnO保護層成膜時の投入ガス変化(Arガス、Ar+5%O₂ガス)による磁気特性の変化を比較した。