1:40 PM - 2:00 PM
[S7.2] 2-inch SiC solution growth using SiC liner crucible fabricated by reactive infiltration
Keywords:シリコンカーバイド、溶液成長、反応性含浸、SiC
反応性含浸SiCライナーるつぼを用いた2インチSiCの溶液成長を実施し、ボイドフリーのSiCの育成に成功した。比較的安価なSiC原料としての有効性を見出した。
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