講演情報

（ポスター講演）

一般ポスター／テクノレビューポスター

一般ポスター-1B

2022年9月15日(木) 10:45 〜 12:15 PB/YB会場 (大学会館2F)

10:45 〜 12:15

[PB2055] (fsLA-)spICP-MSによるSiウェハ表面の粒子状汚染物質評価技術の基礎検討

*山下真弘¹、島村佳典²、奥田勇気³ (1. 京セラ（株）、2. アジレント・テクノロジー（株）、3. 西進商事（株）)

キーワード：spICP-MS、fsLA-spICP-MS、LA-ICP-MS、nanoparticle

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