[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-11] pnダイオードの階段状逆方向電流ー電圧特性の考察（２）

^○村上進¹，穀内滋²，小林五月²，松吉聡³，寺川武士³，栗田信一³，中村稔⁴ (日立・日立研¹，日立原町電子²，日立・電機シ³，茨大工⁴)

キーワード：リーク電流,結晶欠陥,シリコン