[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-12] 高密度に転位を導入したSi結晶におけるMn-Si合金形成

^○後藤頼良，大野裕，米永一郎 (東北大金研)

キーワード：シリコン,転位,合金