[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-4] 低温超音波測定と2次欠陥測定によるCZシリコン結晶中の原子空孔評価(1)弾性定数のソフト化とボイド欠陥の相関

^○斎藤広幸¹，岡部和樹^1,4，鹿島一日兒¹，金田寛^2,4，斉藤芳彦³，根本祐一⁴，後藤輝孝⁴ (グローバルウェーハズ¹，九工大院工²，東芝³，新潟大院自然⁴)

キーワード：CZシリコン,ボイド,空孔