2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

[16p-B2-1~14] 15.8 結晶評価.ナノ不純物・結晶欠陥

2013年9月16日(月) 13:30 〜 17:15 B2 (TC2 1F-102)

14:30 〜 14:45

[16p-B2-5] 低温超音波測定と2次欠陥測定によるCZシリコン結晶中の原子空孔評価(2) 原子空孔とBMD密度の相関

岡部和樹1,2,斎藤広幸2,鹿島一日兒2,金田寛1,3,斉藤芳彦4,根本祐一1,後藤輝孝1 (新潟大院自然1,グローバルウェーハズ2,九工大院工3,東芝4)

キーワード:CZシリコン,原子空孔,BMD