2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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[16p-C11-1~12] 界面ナノ電子化学:産業界における最先端半導体デバイスのナノレベル界面制御の課題

2013年9月16日(月) 13:00 〜 17:15 C11 (TC3 2F-210)

14:30 〜 14:45

[16p-C11-5] 超臨界二酸化炭素中の微粒子挙動

菅原広1,川﨑慎一朗2,鈴木明2 (オルガノ1,産総研2)

キーワード:超臨界,二酸化炭素,微粒子