[16p-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-D3-2] 相選択エッチングによる100nm幅VO₂ナノワイヤの作製

^○矢嶋赳彬，二宮裕磨，西村知紀，長汐晃輔，鳥海明 (東大院工マテ)

キーワード：相転移,ナノワイヤ,モットトランジスタ