[16p-P8-1~21] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-P8-2] ジエチル亜鉛を原料に用いたスプレー法によるGa-doped ZnO薄膜の低抵抗化メカニズム

^○井手亜貴子¹，持原晶子¹，吉野賢二¹，小嶋稔²，竹元裕仁²，豊田浩司²，稲葉孝一郎²，羽賀健一²，中俊雄²，徳留功一² (宮崎大工¹，東ソー・ファインケム²)

キーワード：ZnO,透明導電膜,スプレー