[17a-B3-1~11] 15.6 IV族系化合物

[17a-B3-9] 4H-SiCの熱酸化速度の理論的研究 -Si面とC面の酸化速度の相違-

^○（BC）丸山翔太郎¹，遠藤健太郎¹，長川健太¹，神谷克政¹，白石賢二^1,2 (筑波大物理¹，名大院工²)

キーワード：第一原理計算,酸化,炭化硅素