[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [17a-C2-4] HBrプラズマにおける斜め入射イオンおよび反応生成物（SiBrx）イオンによる反応

^○（M2）村木裕¹，李虎¹，伊藤智子¹，唐橋一浩¹，松隈正明²，浜口智志¹ (阪大院工¹，東京エレクトロン²)

キーワード：エッチング,SI,HBr