[17a-P15-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-P15-5] CVDダイヤモンド薄膜における非輻射欠陥評価法の開発

^○堀敬憲，毎田修，伊藤利道 (阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド