[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-11] マイクロ波加熱を利用した酸化物TFTの作製

^○Hea Jeong Cheong¹，小倉晋太郎¹，酒井平祐¹，原中正行¹，竹内和彦¹，長畑律子¹，植村聖¹，福田伸子¹ (産業技術総合研究所¹)

キーワード：酸化物,マイクロ波加熱