[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-12] Photoinduced Transient Spectroscopy (PITS) 法を用いたIGZO薄膜の電子状態評価

^○田尾博昭，高梨泰幸，森田晋也，日野綾，後藤裕史，林和志，釘宮敏洋 (神戸製鋼所)

キーワード：酸化物半導体,PITS,IGZO