[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [17p-B4-6] TiO₂-NbO₂固溶体シード層を用いてスパッタ成膜したTa:SnO₂透明導電膜(Ⅱ)

^○服部祐樹¹，中尾祥一郎^2,3，二宮善彦¹，佐藤厚¹，長谷川哲也^2,3，山田直臣¹ (中部大¹，KAST²，東大³)

キーワード：酸化スズ,酸化チタン,透明導電膜