[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-8] ZnO、GZO透明導電膜における水素ドナーの寄与

^○赤沢方省 (NTT MI研)

キーワード：ZnO,GZO,水素アニール