[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [17p-B4-9] スクリーン印刷法により作製したIGZO薄膜の点欠陥の解析

^○森本貴明¹，野村健一²，福田伸子²，大木義路¹ (早大¹，産総研FLEC²)

キーワード：IGZO,スクリーン印刷,欠陥