2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

合同セッションK » 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2013年9月17日(火) 13:30 〜 18:15 B4 (TC2 1F-106)

15:30 〜 15:45

[17p-B4-9] スクリーン印刷法により作製したIGZO薄膜の点欠陥の解析

森本貴明1,野村健一2,福田伸子2,大木義路1 (早大1,産総研FLEC2)

キーワード:IGZO,スクリーン印刷,欠陥