[17p-B5-1~21] 13.3 絶縁膜技術

△ [17p-B5-2] 準安定正方晶ZrO₂構造の安定化機構の解明

^○加藤公彦，斉藤貴俊，坂下満男，田岡紀之，中塚理，財満鎭明 (名大院工)

キーワード：ZrO2,正方晶,安定化