[18a-C1-1~5] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

△ [18a-C1-4] ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の結晶構造及び電気特性に対するボロン注入効果 Effect of boron doping on crystalline structures and electrical properties of amorphous carbon films grown by radical-injection plasma-enhanced chemical vapor deposition

^○賈凌雲，九鬼淳，于楽泳，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝 (名大)

キーワード：アモルファスカーボン,太陽電池