[18a-D6-1~9] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

△ [18a-D6-8] バイオテンプレート極限加工によるGaAsナノディスクの作製プロセスの最適化

^○田村洋典^1,4，肥後昭男²，Cédric Thomas^1,4，岡田健¹，山下一郎^3,4，寒川誠二^1,2,4 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²，奈良先端大³，JST-CREST⁴)

キーワード：中性粒子ビームエッチング,量子ドットレーザー,フェリチン