[18p-B4-1~12] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[18p-B4-5] 過飽和状態制御による多結晶Si_1-xSn_x/絶縁膜の大粒径成長

^○黒澤昌志^1,2，荒平貴光¹，山羽隆¹，田岡紀之¹，中塚理¹，財満鎭明¹ (名大院工¹，学振PD²)

キーワード：SiSn,結晶成長