[18p-C1-1~13] 13.2 半導体表面

[18p-C1-3] 255eV光励起のEUPSで観測されるSiウエハーのサテライトスペクトル

石塚知明，^○富江敏尚 (産総研　計測フロンティア)

キーワード：Siのサテライト構造,EUPS,255 eV　励起