[18p-C5-1~8] 大電力パルススパッタリングによる反応性成膜プロセスの可能性（関連大分類：8）

[18p-C5-3] 生産規模でのプラズマイオンプロセスの比較（30分）

^○廣田悟史¹，Rainer Cremer²，高橋哲也² (神戸製鋼所¹，KCS²)

キーワード：イオン化、ハイピムス、スパッタ、大電力