[18p-P11-1~5] 13.8 MEMS, NEMSの基礎と応用：異種機能集積化

[18p-P11-2] 光電池垂直壁を介した配線による昇圧とマイクロミラーの静電駆動

山本太一，久保裕慎，熊谷慎也，^○佐々木実 (豊田工大)

キーワード：垂直壁,立体配線,太陽電池